PI高負載物鏡掃描儀PIFOC系列

      PI PIFOC系列的壓電撓性平臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務中提供高動態性。用于平行和垂直于光軸的XY試樣定位以及物鏡Z 聚焦的良好適配解決方案可作為標準產品提供。與控制器和所有必需的連接電纜和軟件一起的系統中也可以方便地使用階段。與所有壓電系統一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀在交付時都經過測量日志預先校準。

用于重型物鏡的長行程高動態掃描系統

-大目標的高動態定位和掃描

-諧振頻率1120Hz；560Hz，210g物鏡質量

-類型步進和穩定約 6 ms

-行程100 µm

-由于直接測量電容式傳感器，具有高的線性度、穩定性和控制動態

-分辨率 0.3 納米

-零間隙、高精度彎曲導向系統，可實現更好的對焦穩定性

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證的運動線性度、長期穩定性和kHz范圍內的帶寬。

自動配置和快速組件更換

機械和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械裝置D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。

應用領域

-超分辨率顯微鏡

-光碟顯微鏡

-共聚焦顯微鏡

-3D成像

-篩選

-干涉測量法

-測量技術

-自動對焦系統

-生物技術

-半導體測試

PI高負載物鏡掃描儀PIFOC系列